石英環(huán)清洗機(jī)
1? 控制模式:? 手動(dòng)控制模式? 自動(dòng)控制模式;
2 清洗對象:石英環(huán)
? 設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型;
4 尺寸(參考,含地腳):3500? mm(L)× 1500 mm(W)× 2000+1000? mm(H);
5? 機(jī)臺(tái)總體結(jié)構(gòu)暫定分為兩部分,機(jī)械運(yùn)行機(jī)構(gòu)裝置與機(jī)臺(tái)上方(可拆卸);
6? 工藝說明:手動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)放件、取件,機(jī)械臂自動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)槽體間傳送件;
7? 工藝參數(shù)(溫度,時(shí)間,DIW水清洗模式、時(shí)間可調(diào))手動(dòng)由觸摸屏界面可設(shè)定;
8? 機(jī)械臂幾何曲線加減速運(yùn)動(dòng),沖擊小、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn);
9 為確保清洗工藝和機(jī)械手的使用壽命,機(jī)械手由多種工業(yè)材料和特殊的表面處理構(gòu)成
半導(dǎo)體分立器件:爐管清洗機(jī)、RCA清洗機(jī)、去膠臺(tái)、有機(jī)去膠清洗機(jī)、濺射前預(yù)清洗、鋁腐蝕臺(tái)、顯影臺(tái) 、CVD清洗臺(tái)、擴(kuò)散清洗機(jī)、金屬腐蝕臺(tái)等;半導(dǎo)體集成電路:酸堿清洗臺(tái);...
半導(dǎo)體行業(yè):半導(dǎo)體材料:硅片清洗機(jī)、氮化鎵清洗機(jī)、砷化鎵清洗機(jī)、鍺片清洗機(jī)、全自動(dòng)石英管清洗機(jī)、石英鐘罩清洗機(jī)、石英環(huán)清洗機(jī)、陶瓷盤清洗機(jī)、石英工件清洗機(jī)等;...
半導(dǎo)體第三代半導(dǎo)體濕法清洗機(jī)、SiC清洗機(jī)、碳化硅清洗機(jī)、GaN清洗機(jī)、氮化鎵清洗機(jī)、晶圓最終清洗機(jī)、CMP后清洗機(jī)、外延自動(dòng)清洗機(jī)...
自動(dòng)片盒清洗機(jī)適用產(chǎn)業(yè):半導(dǎo)體照明(LED)--半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體分立器件、集成電路、MEMS、有機(jī)發(fā)光二級(jí)管(OLED)、太陽能光伏等;控制模式:手動(dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式;制程應(yīng)用:濕法清洗制程;...
陶瓷盤清洗機(jī)一、設(shè)備外型結(jié)構(gòu)及主要參數(shù)名稱:陶瓷盤清洗機(jī)??刂颇J??手動(dòng)控制模式??自動(dòng)控制模式。清洗對象:陶瓷盤? 設(shè)備形式:室內(nèi)放置型。 尺寸(參考,詳見圖紙,含地腳):30...
石英環(huán)清洗機(jī)1?控制模式:?手動(dòng)控制模式?自動(dòng)控制模式;2清洗對象:石英環(huán)?設(shè)備形式:室內(nèi)放置型;4尺寸(參考,含地腳):3500?mm(L)×1500mm(W)×2000+1000?mm(H);5?...
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