硅片是一種用于制造各種微電子元件的材料,通常為圓形薄片,直徑從幾毫米到300毫米不等,厚度約為0.5毫米左右。它是集成電路和太陽能電池元件的基礎(chǔ)材料,主要分為單晶硅、多晶硅和非晶硅三類,其中以單晶硅最為常見。硅片被廣泛應(yīng)用于集成電路、太陽能電池、LED、制作微機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)、傳感器和微型通訊設(shè)備等領(lǐng)域;
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