閉環(huán)之困：損耗與機(jī)遇并存

ITO靶材在濺射鍍膜過(guò)程中利用率通常僅30%左右，大量含銦廢料（廢舊靶材、邊角料、鍍膜腔室廢料）隨之產(chǎn)生。過(guò)去，這些價(jià)值的廢料往往被簡(jiǎn)單處理或堆積。建立從“廢靶材→再生銦→新靶材”的閉環(huán)體系，成為破解資源約束的黃金路徑。

多種類回收技術(shù)如濕法冶金、火法冶金和物理分離法，提供了靈活的回收方式以適應(yīng)不同的廢物類型和規(guī)模需求。濕法冶金回收中，酸浸法通過(guò)使用鹽酸或硫酸來(lái)溶解ITO廢料，使得銦以In3?的形式進(jìn)入溶液。隨后，可以利用溶劑萃取、置換反應(yīng)（例如，使用鋅粉進(jìn)行置換）或電解法來(lái)進(jìn)一步回收銦。生物浸出法利用特定的微生物，如硫氧化，來(lái)選擇性溶解銦。雖然這種方法環(huán)保，但目前其效率相對(duì)較低，仍處在研究階段。火法冶金回收中，高溫熔煉將含銦廢料與還原劑（例如焦炭）一同進(jìn)行高溫熔煉。在熔煉過(guò)程中，銦會(huì)富集在煙塵或熔渣中，隨后需要進(jìn)一步的二次處理來(lái)進(jìn)行提純。這種方法適用于大規(guī)模的回收操作，但能耗相對(duì)較高。

提純銦的方法包括蒸餾法、電解法和區(qū)域精煉法。蒸餾通過(guò)高溫蒸發(fā)和冷凝來(lái)提純銦。電解利用電流來(lái)提純銦。區(qū)域精煉則通過(guò)移動(dòng)的熔融區(qū)來(lái)提純銦。

ITO靶粉回收是指通過(guò)物理和化學(xué)方法，從廢棄的靶材或生產(chǎn)廢料中提取有價(jià)值的金屬成分，特別是金屬銦，并進(jìn)行再加工的過(guò)程。銦是一種稀有金屬，資源有限，價(jià)格較高，因此回收利用顯得尤為重要。