閉環(huán)之困：損耗與機(jī)遇并存

ITO靶材在濺射鍍膜過程中利用率通常僅30%左右，大量含銦廢料（廢舊靶材、邊角料、鍍膜腔室廢料）隨之產(chǎn)生。過去，這些價(jià)值的廢料往往被簡(jiǎn)單處理或堆積。建立從“廢靶材→再生銦→新靶材”的閉環(huán)體系，成為破解資源約束的黃金路徑。

高純度銦因其在半導(dǎo)體和光伏領(lǐng)域的不可或缺的地位，展現(xiàn)了穩(wěn)定的高端市場(chǎng)需求。另一方面，高純銦的價(jià)格則保持穩(wěn)定。6N級(jí)高純銦的均價(jià)為3400元/千克，而7N級(jí)則為3750元/千克。值得注意的是，非標(biāo)7N級(jí)高純銦的價(jià)格高達(dá)6650元/千克，這進(jìn)一步凸顯了半導(dǎo)體和光伏等領(lǐng)域?qū)Τ呒兌炔牧系膭傂孕枨?。此外，出口市?chǎng)的精銦CIF報(bào)價(jià)為375美元/千克（約合人民幣2720元/千克），與國(guó)內(nèi)市場(chǎng)價(jià)格存在顯著差異，這可能受到匯率變動(dòng)及國(guó)際貿(mào)易政策的影響。

ITO靶粉回收過程通常包括以下幾個(gè)環(huán)節(jié)：

1.收集與分類。首先需要將生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢靶材、切削碎屑、鍍膜殘?jiān)冗M(jìn)行分類收集。不同類型的廢料可能需要采用不同的處理方式，因此分類是確保后續(xù)處理效率的基礎(chǔ)。

2.預(yù)處理。廢料中可能含有油脂、灰塵或其他雜質(zhì)，需通過清洗、烘干等方式進(jìn)行初步處理。對(duì)于塊狀廢料，可能需要通過機(jī)械破碎、研磨等方式將其轉(zhuǎn)化為粉末狀，以便于后續(xù)化學(xué)處理。

3.溶解與浸出。將預(yù)處理后的靶粉與酸性溶液（如鹽酸或硫酸）反應(yīng)，使金屬成分溶解到溶液中。這一步驟需要控制溫度、濃度和反應(yīng)時(shí)間，以提高金屬的浸出率。

4.分離與純化。通過化學(xué)沉淀、溶劑萃取或離子交換等方法，將溶液中的銦與其他金屬（如錫、鐵等）分離開來。隨后，通過進(jìn)一步提純，獲得高純度的銦化合物。

5.還原與加工。將純化后的銦化合物通過電解或化學(xué)還原法轉(zhuǎn)化為金屬銦，并可進(jìn)一步加工成符合生產(chǎn)要求的ITO靶材。

總體來看，ITO靶粉回收是一項(xiàng)技術(shù)成熟、效益顯著的工作。通過合理的工藝設(shè)計(jì)和嚴(yán)格的管理，不僅可以節(jié)約資源、降低生產(chǎn)成本，還能減少對(duì)自然環(huán)境的壓力。未來，隨著技術(shù)的進(jìn)步和環(huán)保意識(shí)的提升，這一領(lǐng)域有望得到更廣泛的應(yīng)用和發(fā)展。