ITO靶材在濺射鍍膜過(guò)程中利用率通常僅30%左右,大量含銦廢料(廢舊靶材、邊角料、鍍膜腔室廢料)隨之產(chǎn)生。過(guò)去,這些價(jià)值的廢料往往被簡(jiǎn)單處理或堆積。建立從“廢靶材→再生銦→新靶材”的閉環(huán)體系,成為破解資源約束的黃金路徑。
銦屬稀有金屬,是一種重要的電子工業(yè)材料,在高技術(shù)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,主要集中在半導(dǎo)體、透明導(dǎo)電涂層、電子器件、熒光材料、金屬有機(jī)物等方面。它在地殼中非常稀有而且分散,又稱之為稀散金屬,銦在地殼中的豐度很低,多種文獻(xiàn)報(bào)道不一,普遍認(rèn)為僅011μg/g,至今以其為主要成分的礦床尚未發(fā)現(xiàn),它通常以微量(01005%)的組分共生于與其性質(zhì)類似的鋅、鉛、銅和錫等礦物上,一般是從鋅、鉛、銅和錫等重金屬冶煉的煙塵、熔渣中回收生產(chǎn)。
ITO靶材回收的必要性
1. 資源稀缺:銦為稀有金屬,資源有限,價(jià)格昂貴。
2. 成本控制:回收廢舊ITO靶材可降低企業(yè)原材料采購(gòu)成本。
3. 環(huán)保要求:減少?gòu)U棄物排放,符合綠色生產(chǎn)理念。
ITO靶材回收注意事項(xiàng):
措施:處理酸堿和廢液時(shí)需注意和環(huán)保。
環(huán)保合規(guī):廢液和殘?jiān)柽_(dá)標(biāo)處理,避免二次污染。
回收效率:合理選擇工藝,提高銦、錫的回收率和純度。