ITO靶材回收的必要性
1. 資源稀缺:銦為稀有金屬,資源有限,價(jià)格昂貴。
2. 成本控制:回收廢舊ITO靶材可降低企業(yè)原材料采購成本。
3. 環(huán)保要求:減少廢棄物排放,符合綠色生產(chǎn)理念。
ITO靶材回收流程:
1. 收集廢靶材:收集來源:面板廠、鍍膜廠等使用ITO靶材的企業(yè)。
2. 表面處理/預(yù)處理 :清洗表面雜質(zhì)、油污、物理去除殘留膜層
3. 靶材分離:機(jī)械切割或分解、分離金屬基板與ITO涂層
4. 濕法冶金回收:用酸(如硝酸、鹽酸等)溶解ITO層、萃取液中回收銦和錫元素
5. 純化與精煉 萃取、沉淀等精細(xì)化學(xué)手段,獲得高純度的銦、錫化合物
6. 再利用 提純后的銦、錫用于制備新ITO靶材或其他用途
ITO靶材主流回收技術(shù):
機(jī)械物理分離:適合較厚靶層,回收效率高。
濕法化學(xué)回收:利用酸堿進(jìn)行溶解分離,適合大批量廢靶材。
熱處理工藝:部分回收方案采用高溫分離,能耗較大。
目前,市場上已有不少專業(yè)的ITO靶材回收企業(yè),他們通過先進(jìn)的回收技術(shù)和設(shè)備,將廢舊ITO靶材中的銦、錫等元素進(jìn)行有效分離和提純,再加工成新的靶材產(chǎn)品,實(shí)現(xiàn)了資源的循環(huán)利用。