廢ITO靶材回收的核心挑戰(zhàn)在于:
成分復(fù)雜:除In?O?、SnO?外,含粘結(jié)劑、金屬背板(銅/鉬)等。
高純度要求:再生銦純度需達99.99%以上,雜質(zhì)含量需嚴(yán)格控制在ppm級,否則影響新靶材性能。
銦錫分離:分離銦錫是實現(xiàn)價值化的關(guān)鍵。
閉環(huán)工藝:價值再造的精益之路
銦屬稀有金屬,是一種重要的電子工業(yè)材料,在高技術(shù)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,主要集中在半導(dǎo)體、透明導(dǎo)電涂層、電子器件、熒光材料、金屬有機物等方面。它在地殼中非常稀有而且分散,又稱之為稀散金屬,銦在地殼中的豐度很低,多種文獻報道不一,普遍認(rèn)為僅011μg/g,至今以其為主要成分的礦床尚未發(fā)現(xiàn),它通常以微量(01005%)的組分共生于與其性質(zhì)類似的鋅、鉛、銅和錫等礦物上,一般是從鋅、鉛、銅和錫等重金屬冶煉的煙塵、熔渣中回收生產(chǎn)。
ITO靶材回收流程:
1. 收集廢靶材:收集來源:面板廠、鍍膜廠等使用ITO靶材的企業(yè)。
2. 表面處理/預(yù)處理 :清洗表面雜質(zhì)、油污、物理去除殘留膜層
3. 靶材分離:機械切割或分解、分離金屬基板與ITO涂層
4. 濕法冶金回收:用酸(如硝酸、鹽酸等)溶解ITO層、萃取液中回收銦和錫元素
5. 純化與精煉 萃取、沉淀等精細(xì)化學(xué)手段,獲得高純度的銦、錫化合物
6. 再利用 提純后的銦、錫用于制備新ITO靶材或其他用途
目前,市場上已有不少專業(yè)的ITO靶材回收企業(yè),他們通過先進的回收技術(shù)和設(shè)備,將廢舊ITO靶材中的銦、錫等元素進行有效分離和提純,再加工成新的靶材產(chǎn)品,實現(xiàn)了資源的循環(huán)利用。