廢ITO靶材回收的核心挑戰(zhàn)在于：

成分復(fù)雜：除In?O?、SnO?外，含粘結(jié)劑、金屬背板（銅/鉬）等。

高純度要求：再生銦純度需達(dá)99.99%以上，雜質(zhì)含量需嚴(yán)格控制在ppm級，否則影響新靶材性能。

銦錫分離：分離銦錫是實(shí)現(xiàn)價(jià)值化的關(guān)鍵。

閉環(huán)工藝：價(jià)值再造的精益之路

ITO靶材回收的必要性

1. 資源稀缺：銦為稀有金屬，資源有限，價(jià)格昂貴。

2. 成本控制：回收廢舊ITO靶材可降低企業(yè)原材料采購成本。

3. 環(huán)保要求：減少廢棄物排放，符合綠色生產(chǎn)理念。

ITO靶材主流回收技術(shù)：

機(jī)械物理分離：適合較厚靶層，回收效率高。

濕法化學(xué)回收：利用酸堿進(jìn)行溶解分離，適合大批量廢靶材。

熱處理工藝：部分回收方案采用高溫分離，能耗較大。

在當(dāng)今環(huán)保意識日益增強(qiáng)的時(shí)代，銦靶材的回收再利用成為了行業(yè)內(nèi)關(guān)注的焦點(diǎn)。ITO靶材，作為銦錫氧化物靶材的簡稱，廣泛應(yīng)用于平板顯示、太陽能電池等領(lǐng)域，其回收價(jià)值不言而喻。