在智能手機(jī)、平板電腦、超清電視的光滑屏幕背后,ITO靶材(氧化銦錫)是賦予其透明導(dǎo)電魔力的核心材料。作為ITO靶材的關(guān)鍵成分,銦(In)的穩(wěn)定供應(yīng)直接關(guān)系到全球萬億級顯示產(chǎn)業(yè)的命脈。然而,這種稀散金屬的地緣分布不均(中國儲量占全球70%以上)和原生礦產(chǎn)的有限性,使得銦的回收再利用不再是環(huán)保課題,更成為保障產(chǎn)業(yè)、實現(xiàn)供應(yīng)鏈韌性的“閉環(huán)”革命。
ITO靶材在濺射鍍膜過程中利用率通常僅30%左右,大量含銦廢料(廢舊靶材、邊角料、鍍膜腔室廢料)隨之產(chǎn)生。過去,這些價值的廢料往往被簡單處理或堆積。建立從“廢靶材→再生銦→新靶材”的閉環(huán)體系,成為破解資源約束的黃金路徑。
廢ITO靶材回收的核心挑戰(zhàn)在于:
成分復(fù)雜:除In?O?、SnO?外,含粘結(jié)劑、金屬背板(銅/鉬)等。
高純度要求:再生銦純度需達(dá)99.99%以上,雜質(zhì)含量需嚴(yán)格控制在ppm級,否則影響新靶材性能。
銦錫分離:分離銦錫是實現(xiàn)價值化的關(guān)鍵。
閉環(huán)工藝:價值再造的精益之路
ITO靶材主流回收技術(shù):
機(jī)械物理分離:適合較厚靶層,回收效率高。
濕法化學(xué)回收:利用酸堿進(jìn)行溶解分離,適合大批量廢靶材。
熱處理工藝:部分回收方案采用高溫分離,能耗較大。