ITO靶材主流回收技術:
機械物理分離:適合較厚靶層,回收效率高。
濕法化學回收:利用酸堿進行溶解分離,適合大批量廢靶材。
熱處理工藝:部分回收方案采用高溫分離,能耗較大。
氧化銦錫(ITO)靶材廣泛應用于平板顯示器和太陽能電池的生產(chǎn),在ITO目標使用了一段時間后,將其替換為新的目標,用過的ITO靶含有大量的銦,可以通過各種工藝回收。
從用過的ITO靶材中回收氧化銦的另一種方法是使用離子交換樹脂,離子交換樹脂用于選擇性地從酸性溶液中吸附銦,然后用酸性溶液將銦從樹脂中洗脫出來,并通過焙燒得到氧化銦。
從電子廢物和廢ITO靶材等廢物來源中回收氧化銦是銦回收的一個重要方面。從這些廢源中回收氧化銦可以通過各種工藝實現(xiàn),包括化學處理、溶劑萃取和離子交換,回收的氧化銦可用于生產(chǎn)各種半導體器件,從而減少對新銦資源的需求,并將銦開采對環(huán)境的影響降至。