ITO靶材回收流程：

1. 收集廢靶材：收集來(lái)源：面板廠、鍍膜廠等使用ITO靶材的企業(yè)。

2. 表面處理/預(yù)處理 ：清洗表面雜質(zhì)、油污、物理去除殘留膜層

3. 靶材分離：機(jī)械切割或分解、分離金屬基板與ITO涂層

4. 濕法冶金回收：用酸（如硝酸、鹽酸等）溶解ITO層、萃取液中回收銦和錫元素

5. 純化與精煉 萃取、沉淀等精細(xì)化學(xué)手段，獲得高純度的銦、錫化合物

6. 再利用 提純后的銦、錫用于制備新ITO靶材或其他用途

ITO靶材主流回收技術(shù)：

機(jī)械物理分離：適合較厚靶層，回收效率高。

濕法化學(xué)回收：利用酸堿進(jìn)行溶解分離，適合大批量廢靶材。

熱處理工藝：部分回收方案采用高溫分離，能耗較大。

從用過(guò)的ITO靶材中回收氧化銦的另一種方法是使用離子交換樹(shù)脂，離子交換樹(shù)脂用于選擇性地從酸性溶液中吸附銦，然后用酸性溶液將銦從樹(shù)脂中洗脫出來(lái)，并通過(guò)焙燒得到氧化銦。

隨著科技的飛速發(fā)展，ITO靶材的需求量持續(xù)增長(zhǎng)。然而，ITO靶材的生產(chǎn)過(guò)程中需要消耗大量的銦資源，而銦是一種稀有的有色金屬，全球儲(chǔ)量有限。因此，ITO靶材的回收再利用不僅有助于節(jié)約資源，還能減少環(huán)境污染，實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展。