ITO靶材在濺射鍍膜過程中利用率通常僅30%左右,大量含銦廢料(廢舊靶材、邊角料、鍍膜腔室廢料)隨之產(chǎn)生。過去,這些價值的廢料往往被簡單處理或堆積。建立從“廢靶材→再生銦→新靶材”的閉環(huán)體系,成為破解資源約束的黃金路徑。
銦屬稀有金屬,是一種重要的電子工業(yè)材料,在高技術(shù)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,主要集中在半導(dǎo)體、透明導(dǎo)電涂層、電子器件、熒光材料、金屬有機(jī)物等方面。它在地殼中非常稀有而且分散,又稱之為稀散金屬,銦在地殼中的豐度很低,多種文獻(xiàn)報(bào)道不一,普遍認(rèn)為僅011μg/g,至今以其為主要成分的礦床尚未發(fā)現(xiàn),它通常以微量(01005%)的組分共生于與其性質(zhì)類似的鋅、鉛、銅和錫等礦物上,一般是從鋅、鉛、銅和錫等重金屬冶煉的煙塵、熔渣中回收生產(chǎn)。
從用過的ITO靶材中回收氧化銦的另一種方法是使用離子交換樹脂,離子交換樹脂用于選擇性地從酸性溶液中吸附銦,然后用酸性溶液將銦從樹脂中洗脫出來,并通過焙燒得到氧化銦。
在當(dāng)今環(huán)保意識日益增強(qiáng)的時代,銦靶材的回收再利用成為了行業(yè)內(nèi)關(guān)注的焦點(diǎn)。ITO靶材,作為銦錫氧化物靶材的簡稱,廣泛應(yīng)用于平板顯示、太陽能電池等領(lǐng)域,其回收價值不言而喻。