ITO靶材的回收流程通常包括以下幾個步驟：

1. 收集與分類：將廢舊ITO靶材進行收集，并根據(jù)其種類、純度等進行分類。

2. 破碎與研磨：將分類后的靶材進行破碎和研磨，使其變成粉末狀，便于后續(xù)處理。

3. 化學(xué)分離：采用化學(xué)方法將粉末中的銦、錫等元素進行有效分離。

4. 提純與精煉：對分離出的銦、錫等元素進行提純和精煉，得到高純度的金屬產(chǎn)品。

5. 再加工：將提純后的金屬產(chǎn)品加工成新的靶材或其他產(chǎn)品，實現(xiàn)資源的循環(huán)利用。

銦靶材回收是資源循環(huán)的關(guān)鍵：全球銦儲量有限，ITO靶材回收可節(jié)約稀有金屬、減少污染。專業(yè)企業(yè)通過破碎、化學(xué)分離等流程提取高純度銦，價格隨市場波動。環(huán)保的回收技術(shù)正推動行業(yè)可持續(xù)發(fā)展。

值得注意的是，蘇州的回收企業(yè)特別注重技術(shù)創(chuàng)新。部分已研發(fā)出等離子體熔煉等新型處理工藝，使能耗降低30%的同時，進一步提升了金屬回收率。這些技術(shù)突破不僅鞏固了蘇州在全國ITO回收領(lǐng)域的地位，更為"雙碳"目標(biāo)的實現(xiàn)貢獻了產(chǎn)業(yè)力量。

在實際生產(chǎn)中，采用蒸餾法分離銦、錫時，可考慮采用微負壓系統(tǒng)進行產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的升級改進。通過改善工藝條件和調(diào)整技術(shù)參數(shù)等，以充分的降低能耗，并獲得更好的銦、錫分離效果，這也是今后產(chǎn)業(yè)化試驗研究的主要方向。