廢ITO靶材回收的核心挑戰(zhàn)在于:
成分復(fù)雜:除In?O?、SnO?外,含粘結(jié)劑、金屬背板(銅/鉬)等。
高純度要求:再生銦純度需達99.99%以上,雜質(zhì)含量需嚴格控制在ppm級,否則影響新靶材性能。
銦錫分離:分離銦錫是實現(xiàn)價值化的關(guān)鍵。
閉環(huán)工藝:價值再造的精益之路
ITO靶材回收注意事項:
措施:處理酸堿和廢液時需注意和環(huán)保。
環(huán)保合規(guī):廢液和殘渣需達標處理,避免二次污染。
回收效率:合理選擇工藝,提高銦、錫的回收率和純度。
氧化銦錫(ITO)靶材廣泛應(yīng)用于平板顯示器和太陽能電池的生產(chǎn),在ITO目標使用了一段時間后,將其替換為新的目標,用過的ITO靶含有大量的銦,可以通過各種工藝回收。
從用過的ITO靶材中回收氧化銦包括幾個步驟,包括溶解、沉淀和焙燒。首先將目標材料溶解在鹽酸中,鹽酸溶解氧化銦,然后加入氫氧化鈉從酸性溶液中析出氧化銦。生成的氫氧化銦然后在高溫下焙燒得到氧化銦。