ITO靶材回收的必要性
1. 資源稀缺:銦為稀有金屬,資源有限,價(jià)格昂貴。
2. 成本控制:回收廢舊ITO靶材可降低企業(yè)原材料采購(gòu)成本。
3. 環(huán)保要求:減少?gòu)U棄物排放,符合綠色生產(chǎn)理念。
ITO靶材主流回收技術(shù):
機(jī)械物理分離:適合較厚靶層,回收效率高。
濕法化學(xué)回收:利用酸堿進(jìn)行溶解分離,適合大批量廢靶材。
熱處理工藝:部分回收方案采用高溫分離,能耗較大。
從用過(guò)的ITO靶材中回收氧化銦的另一種方法是使用離子交換樹脂,離子交換樹脂用于選擇性地從酸性溶液中吸附銦,然后用酸性溶液將銦從樹脂中洗脫出來(lái),并通過(guò)焙燒得到氧化銦。
從電子廢物和廢ITO靶材等廢物來(lái)源中回收氧化銦是銦回收的一個(gè)重要方面。從這些廢源中回收氧化銦可以通過(guò)各種工藝實(shí)現(xiàn),包括化學(xué)處理、溶劑萃取和離子交換,回收的氧化銦可用于生產(chǎn)各種半導(dǎo)體器件,從而減少對(duì)新銦資源的需求,并將銦開采對(duì)環(huán)境的影響降至。