ITO靶材的回收流程通常包括以下幾個(gè)步驟：

1. 收集與分類：將廢舊ITO靶材進(jìn)行收集，并根據(jù)其種類、純度等進(jìn)行分類。

2. 破碎與研磨：將分類后的靶材進(jìn)行破碎和研磨，使其變成粉末狀，便于后續(xù)處理。

3. 化學(xué)分離：采用化學(xué)方法將粉末中的銦、錫等元素進(jìn)行有效分離。

4. 提純與精煉：對(duì)分離出的銦、錫等元素進(jìn)行提純和精煉，得到高純度的金屬產(chǎn)品。

5. 再加工：將提純后的金屬產(chǎn)品加工成新的靶材或其他產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)資源的循環(huán)利用。

值得注意的是，蘇州的回收企業(yè)特別注重技術(shù)創(chuàng)新。部分已研發(fā)出等離子體熔煉等新型處理工藝，使能耗降低30%的同時(shí)，進(jìn)一步提升了金屬回收率。這些技術(shù)突破不僅鞏固了蘇州在全國(guó)ITO回收領(lǐng)域的地位，更為"雙碳"目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)貢獻(xiàn)了產(chǎn)業(yè)力量。

在實(shí)際生產(chǎn)中，采用蒸餾法分離銦、錫時(shí)，可考慮采用微負(fù)壓系統(tǒng)進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的升級(jí)改進(jìn)。通過改善工藝條件和調(diào)整技術(shù)參數(shù)等，以充分的降低能耗，并獲得更好的銦、錫分離效果，這也是今后產(chǎn)業(yè)化試驗(yàn)研究的主要方向。

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