在實(shí)際生產(chǎn)中,ITO靶材通常被加工成圓形或矩形的塊狀,與濺射設(shè)備配合使用。濺射過(guò)程中,靶材的質(zhì)量直接影響薄膜的均勻性、附著力和性能。因此,高質(zhì)量的ITO靶材不僅是技術(shù)要求,更是生產(chǎn)效率和產(chǎn)品可靠性的保障。
ITO(Indium Tin Oxide,氧化銦錫)靶材是一種廣泛用于透明導(dǎo)電薄膜材料制備的復(fù)合氧化物材料,其主要成分為氧化銦(In?O?)和氧化錫(SnO?)。通常,ITO靶材中氧化銦與氧化錫的質(zhì)量比例為90:10,這一比例在實(shí)際應(yīng)用中表現(xiàn)出較為理想的光電特性,使其在透明導(dǎo)電薄膜中廣泛應(yīng)用。
在智能手機(jī)、平板電腦、超清電視的光滑屏幕背后,ITO靶材(氧化銦錫)是賦予其透明導(dǎo)電魔力的核心材料。作為ITO靶材的關(guān)鍵成分,銦(In)的穩(wěn)定供應(yīng)直接關(guān)系到全球萬(wàn)億級(jí)顯示產(chǎn)業(yè)的命脈。然而,這種稀散金屬的地緣分布不均(中國(guó)儲(chǔ)量占全球70%以上)和原生礦產(chǎn)的有限性,使得銦的回收再利用不再是環(huán)保課題,更成為保障產(chǎn)業(yè)、實(shí)現(xiàn)供應(yīng)鏈韌性的“閉環(huán)”革命。
技術(shù)破局:從粗放走向精純
現(xiàn)代銦回收工藝已形成精細(xì)鏈條:
預(yù)處理與富集:機(jī)械破碎液晶屏 → 高溫焚燒去除有機(jī)物 → 酸溶浸出(常用硫酸/鹽酸),將銦等金屬轉(zhuǎn)入溶液。
深度分離提純(核心技術(shù)):
溶劑萃取法:利用特定有機(jī)溶劑(如P204)選擇性“捕獲”溶液中的銦離子,實(shí)現(xiàn)與鐵、鋅、錫等雜質(zhì)的深度分離,富集倍數(shù)可達(dá)千倍。
離子交換法:功能樹(shù)脂吸附銦離子,適用于低濃度溶液提純。
電解沉積:對(duì)富銦溶液通電,在陰極析出粗銦。
高純精煉:對(duì)粗銦進(jìn)行真空蒸餾、區(qū)域熔煉等,去除微量雜質(zhì)(如鎘、鉛),產(chǎn)出純度高達(dá)99.99%(4N)以上的精銦,滿足高端ITO靶材要求。
綠色升級(jí):循環(huán)經(jīng)濟(jì)的必由之路
相比開(kāi)采原生礦(主要來(lái)自鋅冶煉副產(chǎn)品),從電子垃圾中回收銦具有顯著優(yōu)勢(shì):
資源保障:1噸廢棄液晶面板可提取200-300克銦,品位遠(yuǎn)超原礦。
節(jié)能減排:回收能耗僅為原生銦生產(chǎn)的1/3,大幅降低碳排放。
環(huán)境友好:減少電子垃圾填埋污染,避免采礦生態(tài)破壞。
經(jīng)濟(jì)可行:銦價(jià)高企(曾超1000美元/公斤)賦予回收強(qiáng)勁動(dòng)力。