目前,ITO靶材的制備主要有兩種常見方法:熱壓燒結法和冷等靜壓法。
熱壓燒結法
工藝流程:將氧化銦和氧化錫粉末按比例混合后,放入模具,在高溫(1000-1500°C)和高壓(幾十到幾百兆帕)下壓制成型。高溫使粉末顆粒熔融結合,形成致密的靶材結構。
優(yōu)點:這種方法制備的靶材密度接近理論值(通常超過99%),晶粒分布均勻,適合高精度鍍膜需求。
缺點:設備復雜,能耗高,生產成本較高。
適用場景:高端電子產品,如智能手機、平板電腦的顯示屏制造。
冷等靜壓法
工藝流程:將混合粉末裝入柔性模具,在室溫下通過高壓(100-300兆帕)壓制成型,隨后在較低溫度下燒結固化。
優(yōu)點:工藝相對簡單,生產成本較低,適合小批量或定制化生產。
缺點:靶材密度和均勻性稍遜,可能在高功率濺射中表現(xiàn)不夠穩(wěn)定。
適用場景:中低端電子產品或實驗室研發(fā)用靶材。
這兩種方法各有千秋,制造商需要根據具體需求權衡成本與性能。
銦回收面臨的主要挑戰(zhàn)包括銦在電子設備中的低濃度和與其他金屬的合金化。傳統(tǒng)的回收方法難以有效提取,需要采用濕法冶金或火法冶金等先進技術。同時,回收過程中需確保電子廢物流的分類和處理,以減少污染物對回收過程的影響。
在智能手機、平板電腦、超清電視的光滑屏幕背后,ITO靶材(氧化銦錫)是賦予其透明導電魔力的核心材料。作為ITO靶材的關鍵成分,銦(In)的穩(wěn)定供應直接關系到全球萬億級顯示產業(yè)的命脈。然而,這種稀散金屬的地緣分布不均(中國儲量占全球70%以上)和原生礦產的有限性,使得銦的回收再利用不再是環(huán)保課題,更成為保障產業(yè)、實現(xiàn)供應鏈韌性的“閉環(huán)”革命。