目前,ITO靶材的制備主要有兩種常見方法:熱壓燒結(jié)法和冷等靜壓法。
熱壓燒結(jié)法
工藝流程:將氧化銦和氧化錫粉末按比例混合后,放入模具,在高溫(1000-1500°C)和高壓(幾十到幾百兆帕)下壓制成型。高溫使粉末顆粒熔融結(jié)合,形成致密的靶材結(jié)構(gòu)。
優(yōu)點:這種方法制備的靶材密度接近理論值(通常超過99%),晶粒分布均勻,適合高精度鍍膜需求。
缺點:設(shè)備復(fù)雜,能耗高,生產(chǎn)成本較高。
適用場景:高端電子產(chǎn)品,如智能手機(jī)、平板電腦的顯示屏制造。
ITO靶材,即銦錫氧化物靶材,主要由氧化銦(In?O?)和氧化錫(SnO?)組成,其中氧化銦占比高達(dá)90%。ITO靶材因其優(yōu)異的導(dǎo)電性和高透光性,成為液晶顯示器(LCD)、觸摸屏及太陽能電池等光電設(shè)備的理想材料。其晶體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,電導(dǎo)率高,確保了設(shè)備的運(yùn)行。
區(qū)別對比
?成分差異:銦靶材為純金屬銦制成,而ITO靶材則是銦錫氧化物的復(fù)合物。
?用途不同:銦靶材主要用于需要高導(dǎo)電性和延展性的領(lǐng)域,如航空航天部件;ITO靶材則因其透明導(dǎo)電性廣泛應(yīng)用于光電顯示領(lǐng)域。
?性能特點:銦靶材更側(cè)重于導(dǎo)電性和機(jī)械強(qiáng)度,而ITO靶材則兼顧導(dǎo)電性和光學(xué)透明性。
在堆積如山的廢棄手機(jī)、平板電腦和液晶顯示器深處,隱藏著一種被稱為“電子時代血脈”的稀有金屬——銦。它雖在自然界中蹤跡難尋,卻在ITO靶材(氧化銦錫)中扮演著不可替代的角色,驅(qū)動著全球億萬塊液晶屏幕的清晰成像。隨著電子產(chǎn)品更新?lián)Q代加速,一條從“電子垃圾”到“戰(zhàn)略資源”的銦回收產(chǎn)業(yè)鏈正悄然崛起,成為保障產(chǎn)業(yè)與生態(tài)可持續(xù)的關(guān)鍵密碼。