半導(dǎo)體領(lǐng)域:占比 28%,用于晶圓制造的金屬互聯(lián)層與鈍化層沉積,在第三代半導(dǎo)體器件制造中的滲透率持續(xù)攀升,如氮化鎵功率器件就需要使用銦靶。
光伏產(chǎn)業(yè):占比 15%,應(yīng)用于薄膜太陽能電池的透明電極,如銅銦鎵硒(CIGS)薄膜電池、光伏異質(zhì)結(jié)電池(HJT)等,隨著這些電池技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程加速,對銦靶的需求也在不斷增加。
優(yōu)異的光學(xué)性能:在可見光波段(380-780nm)內(nèi),ITO 薄膜的透光率通常能夠達(dá)到 80% 以上,高透光率確保了其在顯示器、太陽能電池等應(yīng)用中的良好表現(xiàn)。
粉末冶金法:將銦氧化物和錫氧化物粉末均勻混合,隨后進(jìn)行預(yù)燒結(jié),以獲得初步的靶材結(jié)構(gòu)。預(yù)燒結(jié)步驟通常在相對低溫下進(jìn)行,目的是通過部分熔融促進(jìn)粉末顆粒的結(jié)合,同時防止過早的晶粒長大。粉體粒徑分布的控制是該方法中的關(guān)鍵一環(huán)。