集成電路(IC)制造
用途:作為金屬互連層或接觸電極材料,用于芯片內部的導電線路、晶體管電極等關鍵部位。
優(yōu)勢:銦的低熔點和高延展性使其易于加工成極薄的薄膜,滿足納米級制程對材料精度的要求。
平板顯示(LCD/OLED/Micro-LED)
核心用途:制備透明導電薄膜(如氧化銦錫,ITO),作為顯示面板的電極層和觸控層。
LCD:用于玻璃基板的 ITO 薄膜,實現(xiàn)像素電極的導電功能。
OLED/Micro-LED:作為柔性基板(如 PI 膜)的透明電極,滿足柔性顯示對材料延展性的要求。
市場占比:全球超過 70% 的銦靶材用于顯示面板生產(chǎn),是 LCD/OLED 產(chǎn)業(yè)鏈的關鍵材料。
精密制造與特殊材料領域
1. 高端軸承與涂層
用途:在航空發(fā)動機、精密機床的軸承表面濺射銦涂層,降低摩擦系數(shù),提高潤滑性能和抗磨損能力。
場景:飛機渦輪軸承、光刻機精密運動部件等。
2. 低熔點合金與焊料
成分:銦與錫、鉛、鎵等金屬組成的共晶合金(如 In-Sn 合金,熔點約 118℃)。
應用:用于電子元件的低溫焊接、熱敏感器件的封裝,以及核工業(yè)中的熔斷保護裝置。
濺射時間與沉積厚度
厚度監(jiān)控:使用石英晶體微天平(QCM)實時監(jiān)測薄膜沉積速率,結合靶材消耗速率(約 0.1~0.5 μm/min,與功率相關),控制濺射時間。
靶材利用率:避免過度濺射導致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 時需及時更換),通常平面靶材利用率約 30%~40%,旋轉靶可提升至 60% 以上。