真空度顯示：顯示腔體內(nèi)部的真空度數(shù)值

運行程序段：分為3個步驟，綠色表示運行狀態(tài)

①真空泵啟動②射頻電源打開③放氣

進氣流量顯示：通過調(diào)節(jié)A、B流量調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)氣體進入腔體的大小，在兩個圖標顯示，上部顯示為A流量，下部顯示為B流量

時間：顯示設備清洗時間

功率:顯示當前設備清洗是清洗功率

設備溫度：顯示當前射頻電源設備溫度

放氣狀態(tài)：顯示當前放氣閥開啟或關閉狀態(tài)

清洗時間：點擊可設置設備運行清洗時間

清洗功率：點擊可設置設備運行清洗功率

開始運行：點擊可切換設備開始運行或者停止運行