凈室的定義為:將空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔凈的環(huán)境。亦即:這個環(huán)境中的微塵粒子相當少,稱之為凈室。凈室被廣泛地應用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥、和醫(yī)院內的手術室等行業(yè)等,其中以半導體業(yè)其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內,才不會對制程產生影響。作為生產設施,凈室可以占據廠房很多位置。
空調系統(tǒng)24小時全天運轉并監(jiān)控管理半導體工廠部分制程設備,對溫濕度變化極為敏感,如黃光區(qū)Stepper光學機臺,些微的溫、濕度變化均會使設備的準度偏差,另外芯片等產品也必須置放在定溫定濕的環(huán)境下,故空調系統(tǒng)必須24小時監(jiān)控管理之。
半導體廠凈室室內壓力大小半導體廠凈室室內壓力必須比室外高些許,除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產區(qū)的環(huán)境條件外,并可延長凈室ULPAfilter的壽命,但不能無條件增加,如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運轉成本。
氣流分布須均勻凈室空調為帶走凈室內所產生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達到一定之要求標準外,氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當的控制。
單層廠房在滿足一定建筑模數要求的基礎上視工藝需要確定其建筑寬度(跨度)、長度和高度。廠房的跨度B:一般為6、9、12、15、18、21、24、27、30、36m……。廠房的長度L:少則幾十米,多則數百米。廠房的高度H:低的一般5~6m,高的可達30~40m,甚至更高。廠房的跨度和高度是廠房照明設計中考慮的主要因素。
另外,根據工業(yè)生產連續(xù)性及工段間產品運輸的需要,多數工業(yè)廠房內設有吊車,其起重量輕的可為3~5t,大的可達數百噸(機械行業(yè)單臺吊車起重量可達800t)。因此,工廠照明通常采用裝在屋架上的燈具來實現。