廢氣除臭處理低溫等離子凈化設備是在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，一是在產(chǎn)生等離子體的過程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能足夠打開一些有害氣體分子的化學能，使之分解為單質(zhì)原子或無害分子;二是等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結(jié)合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發(fā)態(tài)。當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。