除了凈化技術(shù)，電子廠凈化車間還需進(jìn)行空氣流動(dòng)管理。這一管理手段主要包括空氣流量控制、氣流方向控制和氣壓控制?？諝饬髁靠刂瓶梢源_保車間內(nèi)的空氣量充足，滿足生產(chǎn)所需。氣流方向控制可以使空氣從潔凈區(qū)域流向不潔凈區(qū)域，有效避免交叉污染。氣壓控制則可以控制車間內(nèi)的氣壓差，防止外界的空氣進(jìn)入凈化區(qū)域?？諝饬鲃?dòng)管理的合理應(yīng)用，可以保持車間內(nèi)空氣的潔凈狀況。

電子凈化車間一般要求潔凈度在10萬級標(biāo)準(zhǔn)以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。根據(jù)潔凈度不同分為100級(小于3.5個(gè))，1000級(小于35個(gè))，10000級(小于350個(gè))，100000級(小于3500個(gè))。

電子工廠凈化廠房特點(diǎn)

>電子產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展迅猛

IC特征尺寸0.05u m,12" ～16" ，64G

TFT第六代產(chǎn)品

對化學(xué)污染物的嚴(yán)格要求

大面積、大體量、組合式、多層潔凈廠房

投資大、能量消耗大

凈化車間工程凈化系統(tǒng)不進(jìn)行清洗，均會(huì)影響空氣潔凈等級。普通空調(diào)系統(tǒng)不是一次安裝完，多次安裝必然有一些污染物留在風(fēng)管之中，如果不清理干凈，就會(huì)直接影響空氣的清潔度，所以在安裝過程中要邊施工邊清洗，并在驗(yàn)證之前進(jìn)行24小時(shí)空吹。