無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬件設備的投資外，也需要良好的軟件—管理制度來搭配，才能保持良好的潔凈度；無塵室運行和管理，可依作業(yè)人員、原物料、設備及無塵室內所用東西等加以探討；無塵室內系統除了通稱的空調系統之外，制程設備也包括在內，系統運行維護及保養(yǎng)需要經過培訓的專業(yè)人士來執(zhí)行。

無塵室是污染控制的基礎，是一間具備了空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間。在無塵室的硅晶片制造鏈中，必須是一個無污染源的環(huán)境、超潔凈的車間，硅晶片零件才能夠正常批量生產.一些高新技術對生產環(huán)境的要求提高，為了提升競爭力，各個行業(yè)也開始追求無塵室的質量。

經測試分析，無塵室的微污染中80%是工作人員帶來的。當工作人員進出無塵室時塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進入無塵室前要做好清潔擦拭等防塵動作，且企業(yè)也要對工作人員進行培訓，并制定相應的章程和制度等。

工作人員會帶入塵埃，那么所有的物料及設備也會影響無塵室的清潔。在物流和設備進入時，要做到不將任何微?；蛭⑸飵胧覂?。工作人員要在無塵室內穿著潔凈衣服，用無塵紙擦拭物料和設備。搬運時也要為地板鋪上已經清潔過的不銹鋼板，防止破壞地板。