所謂半導體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級標準以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數計算。在絕大多數情況下，無塵車間運行中風速越低，過濾器的使用效果越好。

小粒徑粉塵的擴散作用(布朗運動)明顯，風速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機會撞擊障礙物，因此過濾效率就高。經驗表明，對于過濾器，風速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數量級(效率數值增加一個9)，風速增加一倍，透過率會增加一個數量級(效率降低一個9)。

與擴散的效果類似，當過濾材料帶靜電時(駐極體材料)，粉塵在濾材中滯留的時間越長，被材料吸附的可能性就越大。改變風速，帶靜電材料的過濾效率會明顯改變。如果你知道材料上有靜電，進行空調系統(tǒng)設計時就應該盡可能地減少通過每只過濾器的風量。

進入無塵車間須知

(1)進入無塵車間應穿干凈鞋具，不得帶油漬、污泥入內;

(2)室內不得吸煙、飲食和飲水;

(3)焊接、切割、鑿洞等有塵作業(yè)必須加以控制，防止碎屑大范圍擴散，每天工作結束時應將垃圾搬出室外倒入規(guī)定處;

(4)施工材料堆放整齊;

(5)室內嚴禁大小便;