與擴散的效果類似，當過濾材料帶靜電時(駐極體材料)，粉塵在濾材中滯留的時間越長，被材料吸附的可能性就越大。改變風(fēng)速，帶靜電材料的過濾效率會明顯改變。如果你知道材料上有靜電，進行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計時就應(yīng)該盡可能地減少通過每只過濾器的風(fēng)量。

無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬件設(shè)備的投資外，也需要良好的軟件—管理制度來搭配，才能保持良好的潔凈度；無塵室運行和管理，可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及無塵室內(nèi)所用東西等加以探討；無塵室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi)，系統(tǒng)運行維護及保養(yǎng)需要經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人士來執(zhí)行。

經(jīng)測試分析，無塵室的微污染中80%是工作人員帶來的。當工作人員進出無塵室時塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進入無塵室前要做好清潔擦拭等防塵動作，且企業(yè)也要對工作人員進行培訓(xùn)，并制定相應(yīng)的章程和制度等。

控制粉塵：建造電子無塵車間需要小化粉塵產(chǎn)生和積累的可能性。確保工作表面和設(shè)備是光滑、易清潔的，并采取措施減少粉塵揚塵，如使用濕拖抹布、吸塵器等。

靜電消除：靜電是電子元件的一個主要問題，因此必須采取措施消除靜電。使用防靜電地板和防靜電工作臺，并提供適當?shù)撵o電消除設(shè)備，如離子風(fēng)槍、靜電消除器等。