所謂半導(dǎo)體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級標(biāo)準(zhǔn)以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。在絕大多數(shù)情況下，無塵車間運(yùn)行中風(fēng)速越低，過濾器的使用效果越好。

小粒徑粉塵的擴(kuò)散作用(布朗運(yùn)動)明顯，風(fēng)速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機(jī)會撞擊障礙物，因此過濾效率就高。經(jīng)驗(yàn)表明，對于過濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數(shù)量級(效率數(shù)值增加一個9)，風(fēng)速增加一倍，透過率會增加一個數(shù)量級(效率降低一個9)。

工作人員會帶入塵埃，那么所有的物料及設(shè)備也會影響無塵室的清潔。在物流和設(shè)備進(jìn)入時，要做到不將任何微粒或微生物帶入室內(nèi)。工作人員要在無塵室內(nèi)穿著潔凈衣服，用無塵紙擦拭物料和設(shè)備。搬運(yùn)時也要為地板鋪上已經(jīng)清潔過的不銹鋼板，防止破壞地板。

控制粉塵：建造電子無塵車間需要小化粉塵產(chǎn)生和積累的可能性。確保工作表面和設(shè)備是光滑、易清潔的，并采取措施減少粉塵揚(yáng)塵，如使用濕拖抹布、吸塵器等。

靜電消除：靜電是電子元件的一個主要問題，因此必須采取措施消除靜電。使用防靜電地板和防靜電工作臺，并提供適當(dāng)?shù)撵o電消除設(shè)備，如離子風(fēng)槍、靜電消除器等。