小粒徑粉塵的擴(kuò)散作用(布朗運(yùn)動(dòng))明顯，風(fēng)速低了，氣流在過濾材料中滯留的時(shí)間就長(zhǎng)一些，粉塵就有更多的機(jī)會(huì)撞擊障礙物，因此過濾效率就高。經(jīng)驗(yàn)表明，對(duì)于過濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過率會(huì)降低近一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率數(shù)值增加一個(gè)9)，風(fēng)速增加一倍，透過率會(huì)增加一個(gè)數(shù)量級(jí)(效率降低一個(gè)9)。

對(duì)于過濾器，氣流穿過濾材的速度一般在0.01～0.04m/s，在這個(gè)范圍內(nèi)，過濾器的阻力與過濾風(fēng)量呈正比關(guān)系。例如，一只484×484×220mm的過濾器，在額定風(fēng)量1000m3/h下的初阻力為250Pa，如果使用中的實(shí)際風(fēng)量是500m3/h，它的初阻力可降為125Pa。對(duì)于空調(diào)箱中的一般通風(fēng)用過濾器，氣流穿過濾材的速度在0.13～1.0m/s范圍內(nèi)，阻力與風(fēng)量不再是線性關(guān)系，而是一條上揚(yáng)的弧線，風(fēng)量增加30%，阻力可能會(huì)增加50%，若過濾器阻力對(duì)你來說是個(gè)非常重要的參數(shù)，你就要向過濾器供應(yīng)商索要阻力曲線。

無塵室是污染控制的基礎(chǔ)，是一間具備了空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無塵室的硅晶片制造鏈中，必須是一個(gè)無污染源的環(huán)境、超潔凈的車間，硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn).一些高新技術(shù)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求提高，為了提升競(jìng)爭(zhēng)力，各個(gè)行業(yè)也開始追求無塵室的質(zhì)量。

經(jīng)測(cè)試分析，無塵室的微污染中80%是工作人員帶來的。當(dāng)工作人員進(jìn)出無塵室時(shí)塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進(jìn)入無塵室前要做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作，且企業(yè)也要對(duì)工作人員進(jìn)行培訓(xùn)，并制定相應(yīng)的章程和制度等。