與擴(kuò)散的效果類似，當(dāng)過(guò)濾材料帶靜電時(shí)(駐極體材料)，粉塵在濾材中滯留的時(shí)間越長(zhǎng)，被材料吸附的可能性就越大。改變風(fēng)速，帶靜電材料的過(guò)濾效率會(huì)明顯改變。如果你知道材料上有靜電，進(jìn)行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)就應(yīng)該盡可能地減少通過(guò)每只過(guò)濾器的風(fēng)量。

一般生產(chǎn)車間一般以自身的加工工藝規(guī)定為標(biāo)準(zhǔn)，可是無(wú)塵室管理就顯著繁雜很多。依據(jù)自然環(huán)境清潔水平，按時(shí)拆換初、中效過(guò)濾器空氣過(guò)濾網(wǎng)，中效過(guò)濾器拆換時(shí)間隔一般為3-6個(gè)月，新風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)口的中效過(guò)濾器拆換清理間隔時(shí)間為30天上下。按時(shí)(3~6個(gè)月)檢驗(yàn)各凈化室的工作壓力，一般潔凈區(qū)正壓力應(yīng)超過(guò)10pa，不然務(wù)必查驗(yàn)初效、中效過(guò)濾器是不是阻塞，拆換、查驗(yàn)送排煙風(fēng)機(jī)是不是運(yùn)行正常。

無(wú)塵室是污染控制的基礎(chǔ)，是一間具備了空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無(wú)塵室的硅晶片制造鏈中，必須是一個(gè)無(wú)污染源的環(huán)境、超潔凈的車間，硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn).一些高新技術(shù)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求提高，為了提升競(jìng)爭(zhēng)力，各個(gè)行業(yè)也開始追求無(wú)塵室的質(zhì)量。

除了防止微塵進(jìn)入，無(wú)塵室也要設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)、水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備等各類設(shè)備設(shè)施，來(lái)確保無(wú)塵室內(nèi)的空氣潔凈度級(jí)別使用符合產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。在系統(tǒng)正常運(yùn)行中，維護(hù)也是必不可少的。比如，空氣過(guò)濾器是否疏通正常、密封墊是否牢固、送風(fēng)機(jī)軸承的運(yùn)行是否處于正常狀態(tài)等。每一項(xiàng)都影響了系統(tǒng)的運(yùn)行，因此不可遺漏。