所謂半導(dǎo)體電子潔凈車間，指的是潔凈度在10萬級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。在絕大多數(shù)情況下，無塵車間運(yùn)行中風(fēng)速越低，過濾器的使用效果越好。

與擴(kuò)散的效果類似，當(dāng)過濾材料帶靜電時(shí)(駐極體材料)，粉塵在濾材中滯留的時(shí)間越長，被材料吸附的可能性就越大。改變風(fēng)速，帶靜電材料的過濾效率會(huì)明顯改變。如果你知道材料上有靜電，進(jìn)行空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)就應(yīng)該盡可能地減少通過每只過濾器的風(fēng)量。

無塵室管理是要保障保障潔凈。保障一個(gè)自然環(huán)境長期性潔凈，應(yīng)該許多要求和方法保持，假如有些人不實(shí)行這種要求和方法，潔凈將漸漸地變有塵。你需要管理的便是任何人對(duì)這種要求和方法實(shí)實(shí)在在的實(shí)行。要不然工作中沒法運(yùn)作，商品沒法生產(chǎn)制造。保障一個(gè)自然環(huán)境長期性潔凈，很定應(yīng)該許多要求和方法來保持，假如有些人不實(shí)行這種要求和方法，潔凈將漸漸地變有塵。你需要管理的便是任何人對(duì)這種要求和方法實(shí)實(shí)在在的實(shí)行。

無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬件設(shè)備的投資外，也需要良好的軟件—管理制度來搭配，才能保持良好的潔凈度；無塵室運(yùn)行和管理，可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及無塵室內(nèi)所用東西等加以探討；無塵室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi)，系統(tǒng)運(yùn)行維護(hù)及保養(yǎng)需要經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人士來執(zhí)行。