無塵潔凈車間,是指無塵車間,美國國家航空航天局( NASA )飛往太陽系天體的太空行動要能夠維持生命,或者可能要維持處于基本進(jìn)化狀態(tài)的生命,對于太空船表面上的孢子數(shù)有嚴(yán)格的限制要求。
在制造環(huán)境中,人們所關(guān)注的微粒尺寸一般都比較大,它們不會像煙霧那樣散開,而會掉到組件的表面上,所以與在半導(dǎo)體潔凈室中的空氣控制方案完全不同。另外,人們關(guān)注的范圍也越來越窄,需要控制的污染物的尺寸的直徑在80至120μm之間,小的在40至60μm之間,例如金屬、類污染物。這些用戶的目標(biāo)與常規(guī)潔凈室用戶的沒有什么兩樣:防止產(chǎn)品出現(xiàn)用肉眼看得到的缺陷和功能性缺陷。
矢量潔凈室:在房間的側(cè)上角送風(fēng),采用扇形過濾器,也可以用普通過濾器配扇形送風(fēng)口,在另一側(cè)的下部設(shè)回風(fēng)口,房間的高長比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達(dá)到5級(100級)潔凈度。
有足夠的風(fēng)量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩(wěn)定的氣流流型。
不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。