1、進(jìn)入潔凈室之前，預(yù)先清潔儀器、人員以及零件;

2、用可控的多級(jí)壓力、溫度和濕度控制裝置密封建筑;

3、HEPA過濾;

4、增強(qiáng)工藝以減少顆粒/沉淀物的產(chǎn)生;

5、保護(hù)性外衣;

6、清潔;

7、雙門配置將相鄰的空間分開，包括運(yùn)送和接收區(qū)域。

在將關(guān)鍵空間設(shè)計(jì)為分級(jí)的潔凈室是合理的。

在制造環(huán)境中，人們所關(guān)注的微粒尺寸一般都比較大，它們不會(huì)像煙霧那樣散開，而會(huì)掉到組件的表面上，所以與在半導(dǎo)體潔凈室中的空氣控制方案完全不同。另外，人們關(guān)注的范圍也越來越窄，需要控制的污染物的尺寸的直徑在80至120μm之間，小的在40至60μm之間，例如金屬、類污染物。這些用戶的目標(biāo)與常規(guī)潔凈室用戶的沒有什么兩樣：防止產(chǎn)品出現(xiàn)用肉眼看得到的缺陷和功能性缺陷。

單向流潔凈室：?jiǎn)蜗蛄鳚崈羰覛饬鞯奶卣魇橇骶€平行，以單一方向流動(dòng)，并且在斷截面上風(fēng)速一致，有垂直單向潔凈室，準(zhǔn)垂直單向流，水平單向流潔凈室等。

當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級(jí)時(shí)，選用層流流型；當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級(jí)時(shí)，選用亂流流型。

減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。

為了防止灰塵的二次飛揚(yáng)，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口。