光柵尺

材料

B270i、K9、SUS304等

面形

平整度＜2um

平行度＜2um

光刻圖案精度

±1um

外形加工精度

±0.05mm

同心度

≤0.05mm

加工長度

≤300mm

光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。應用于數控機床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應速度快的特點。按照制造方法和光學原理的不同，分為透射光柵和反射光柵。