超精加工是采用裝在振動頭上的細粒度油石對精加工表面進行精整加工。砂帶磨削是采用高速運轉的環(huán)形砂帶加工工件表面的磨削。鏡面磨削是達到表面粗糙度的磨削方法。磨削后的工件，表面粗糙度不大于0.01微米，光如鏡面，可以清晰成像。精密加工在制造業(yè)中處于十分重要的地位，常用于精密絲杠、精密齒輪、精密蝸輪、精密導軌和精密軸承等關鍵零件的加工。

精密加工工藝是指加工精度以及表面光潔程度高于各相應加工方法精加工的各種加工工藝。精密切削加工是依靠精度高、剛性好的機床和精細刃磨的刀具用很高或極低的切削速度、很小的切深和進給量在工件表面切去極薄一層金屬的過程，顯然，這個過程能顯著提高零件的加工精度。

由于切削過程殘留面積小，又限度地排除了切削力、切削熱和振動等的不利影響，因此能有效地去除上道工序留下的表面變質層，加工后表面基本上不帶有殘余拉應力，粗糙度也大大減小，極大地提高了加工表面質量。高光潔高精度磨削包括精密磨削、超精密磨削和鏡面磨削。

20世紀60年代為了適應核能、大規(guī)模集成電路、激光和航天等技術的需要而發(fā)展起來的精度的加工技術。超精密加工的精度比傳統(tǒng)的精密加工提高了一個以上的數(shù)量級。到20世紀80年代，加工尺寸精度可達10納米(1×10-8米)，表面粗糙度達1納米。