鋁合金由于其良好的物理化學性能、優(yōu)異的機械性能，廣泛應用于半 導體及微電子工業(yè)等領域。隨著現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品朝著高強度，輕型化、高性 能方向發(fā)展，鋁合金激光切割方法也朝著精密、、靈活的方向發(fā)展。激光切割具有切縫窄、熱影響區(qū)小、效率高，切邊無機械應力等優(yōu)點，已成為 鋁合金精密加工的重要方法。

現(xiàn)有的鋁合金激光切割一般都采用切割頭加輔助氣體的方法切割，其作用機制在激光聚焦于鋁合金內(nèi)部，高能量氣化融化鋁合金，配合高壓輔助氣 體將融化的物質(zhì)吹走。這種切割方式主要采用波長約為10640nm和1064nm 兩種激光，都屬于紅外波長范圍，對于切割尺寸精度在微米級別的鋁合金 薄板精密切割中，由于其光斑較大，熱影響區(qū)域大，容易在切割邊緣處產(chǎn)生掛渣和微裂紋，終影響切割的精度和效果。

實施例的鋁合金激光切割系統(tǒng)及方法通過利用激光束較小的脈沖寬 度和較短的波長以非接觸方式實現(xiàn)待切割工件的切割，避免了機械方法對待切割工件的接觸應力損失，以及在切割加工過程中因熱加工機制產(chǎn)生微裂紋、掛渣等問題;通過使用特定夾具使待切割工件水平固定，保持切縫 位置懸空的同時，從背面支撐待切割工件切割區(qū)域，防止切斷瞬間由于掉落產(chǎn)生應力破壞切割邊緣效果;通過水箱裝置中的循環(huán)冷卻水對待切割工 件做冷卻處理，減弱熱影響對周圍材料的影響，進一步提高切割質(zhì)量;通過多條切割路徑組合方式進行切割，以擴大切縫寬度提高切割效率。

上述實施例為較佳的實施方式，但的實施方式并不受上 述實施例的限制，其他的任何未背離的精神實質(zhì)與原理下所作的改 變、修飾、替代、組合、簡化，均應為等效的置換方式，都包含在鋁合金激光切割方法的保護范圍之內(nèi)。