一般要經(jīng)過初效過濾、中效過濾、過濾等三個過濾段，氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間帶走塵埃等顆?！仫L(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。

由于工藝的更新，部分車間將在此次改造中改建成潔凈車間。此部分雖然位于單層廠房處。但其上部約有4.5米的空間可用作管道層。下部也可改造成有1.5米深的回風(fēng)層.潔凈室布置廠房中心部，四周無外墻。結(jié)合工藝和改造工程的需要，周圍布置了產(chǎn)品倉庫，走道，機(jī)房等。

冷熱水系統(tǒng)設(shè)置三通閥根據(jù)回水溫度感知潔凈車間的負(fù)荷變化，為系統(tǒng)提供適合的冷熱量。

過濾系統(tǒng)(包括、中效、初效過濾器)設(shè)置壓差控制裝置以便適時更換阻力過大的過濾裝置。

蒸汽加濕器設(shè)置控制系統(tǒng)，根據(jù)潔凈車間的濕度變化控制進(jìn)入加濕器蒸汽量。

系統(tǒng)連鎖控制：基本控制是當(dāng)風(fēng)機(jī)停止時，所有的水閥、風(fēng)閥隨即關(guān)閉。

無塵車間是指操控產(chǎn)品(如硅片)所暴露的大氣的清潔度和溫度濕度，以便產(chǎn)品可以在良好的環(huán)境中出產(chǎn)和制造。這個環(huán)境空間的設(shè)計和制作進(jìn)程可以稱為凈化工程。

針對無塵車間凈化空調(diào)體系的加濕問題，有許多常用的加濕辦法，包括噴水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕。這些加濕辦法歸于等焓加濕進(jìn)程。