電子無(wú)塵車(chē)間投資越大，質(zhì)量水平越高，至于電子產(chǎn)品參與的人絡(luò)繹不絕。幾年后，電子無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的電子產(chǎn)品尺寸可達(dá)到0.5微米左右，整體電路存儲(chǔ)可達(dá)到更高的水平，因此，目前很多潔凈室的部件都用在了微電子上，建設(shè)和運(yùn)營(yíng)的資金都非常高。

無(wú)塵車(chē)間空氣凈化系統(tǒng)分為水平層流、垂直層流和紊流。氣流方式的選擇參照常規(guī)，潔凈度主要由單位時(shí)間換氣次數(shù)決定。因此，在確定凈化系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)之前，必須認(rèn)真考慮無(wú)塵車(chē)間的工作性質(zhì)和生產(chǎn)要求。

為達(dá)到潔凈水平，無(wú)塵車(chē)間的設(shè)置需要采取綜合措施，包括工藝布置、建筑平面、建筑結(jié)構(gòu)、空氣凈化措施、維護(hù)管理等，其中空氣凈化措施是達(dá)到潔凈水平的根本保證。

由于無(wú)塵車(chē)間要保持相應(yīng)級(jí)別的潔凈度，所用建造材料都應(yīng)滿(mǎn)足一定的要求。無(wú)塵車(chē)間地面，要求平整、耐磨、易清洗、防靜電、不嚴(yán)重反光、美觀(guān)耐用。無(wú)塵車(chē)間地面材料的選用尤其關(guān)鍵，具體使用哪種材料，應(yīng)結(jié)合無(wú)塵車(chē)間建設(shè)方的預(yù)算來(lái)確定。