在整個集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術(shù)可以說是促進凈化的關(guān)鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會成為廢品，因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。

無塵車間的設(shè)計并不像想象的那么簡單，它是一個大工程，需要消耗大量的能源，尤其是空調(diào)。因此，在設(shè)計和施工中，必須注意節(jié)能措施、系統(tǒng)和區(qū)域劃分、風(fēng)量計算、溫度和相對濕度的確定。在該區(qū)域，為保證無塵車間的全過程調(diào)節(jié)，空調(diào)箱應(yīng)根據(jù)氣候條件選擇自動控制裝置。另外，空調(diào)房設(shè)計在無塵車間內(nèi)。這樣既節(jié)約了能源，又使氣流組織更加合理。

在進入無塵車間的時候，應(yīng)該要先進行風(fēng)淋。在工作的時候，包括胡須在內(nèi)的所有毛發(fā)，都應(yīng)該使用毛發(fā)護具來全部地遮蓋住。以免掉落的毛發(fā)來對產(chǎn)品的生產(chǎn)造成影響。 在高度潔凈區(qū)域工作的人員，應(yīng)該保證健康狀況良好。避免將病毒帶入無塵車間內(nèi)，對無塵車間的環(huán)境造成破壞。

對于要求比較高的無塵車間，還需要做無塵車間地面的防靜電處理。通過使用防靜電水磨石做面層，再通過鋪設(shè)靜電接地網(wǎng)來達到防靜電效果。如果無塵車間地面采用防靜電水泥砂漿，那么久需要添加靜電接地網(wǎng)來達到防靜電功能。一般來說，電子無塵車間對防靜電的要求會比較高。