無塵車間工人在防火墻兩端2m范圍內(nèi)穿管、穿管、穿隔熱層。根據(jù)上述需要，在潔凈室工程中，經(jīng)常采用拍賣保溫板和復(fù)合硅酸鹽保溫板（防潮層和外保護(hù)材料以及與保溫材料相匹配的液體泥漿），而阻燃自熄聚苯乙烯保溫板不符合消防要求，限制了其應(yīng)用。這里重要的是，當(dāng)輸送的空氣溫度低于環(huán)境溫度時，由于隔熱結(jié)構(gòu)內(nèi)外壁之間的溫差而產(chǎn)生水蒸氣的分壓差。由于分壓差的影響，管外空氣中的水蒸氣隨熱流滲入保溫材料，導(dǎo)致保溫結(jié)構(gòu)內(nèi)凝結(jié)，保溫材料的保溫性能降低，必須在保溫層外設(shè)置防潮層。當(dāng)氣溫高于環(huán)境溫度時，保溫結(jié)構(gòu)一般不設(shè)置防潮層。保溫材料采用閉孔結(jié)構(gòu)，防止水汽滲入。如防水層為液體泥漿，復(fù)合硅酸鹽保溫板施工后無接縫。防潮效果很好，但是價格很高。

在整個集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術(shù)可以說是促進(jìn)凈化的關(guān)鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進(jìn)，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會成為廢品，因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。

無塵車間空氣凈化系統(tǒng)分為水平層流、垂直層流和紊流。氣流方式的選擇參照常規(guī)，潔凈度主要由單位時間換氣次數(shù)決定。因此，在確定凈化系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)之前，必須認(rèn)真考慮無塵車間的工作性質(zhì)和生產(chǎn)要求。

為達(dá)到潔凈水平，無塵車間的設(shè)置需要采取綜合措施，包括工藝布置、建筑平面、建筑結(jié)構(gòu)、空氣凈化措施、維護(hù)管理等，其中空氣凈化措施是達(dá)到潔凈水平的根本保證。