對(duì)于要求比較高的無(wú)塵車(chē)間，還需要做無(wú)塵車(chē)間地面的防靜電處理。通過(guò)使用防靜電水磨石做面層，再通過(guò)鋪設(shè)靜電接地網(wǎng)來(lái)達(dá)到防靜電效果。如果無(wú)塵車(chē)間地面采用防靜電水泥砂漿，那么久需要添加靜電接地網(wǎng)來(lái)達(dá)到防靜電功能。一般來(lái)說(shuō)，電子無(wú)塵車(chē)間對(duì)防靜電的要求會(huì)比較高。

無(wú)塵車(chē)間空氣凈化系統(tǒng)分為水平層流、垂直層流和紊流。氣流方式的選擇參照常規(guī)，潔凈度主要由單位時(shí)間換氣次數(shù)決定。因此，在確定凈化系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)之前，必須認(rèn)真考慮無(wú)塵車(chē)間的工作性質(zhì)和生產(chǎn)要求。

在整個(gè)集成電子無(wú)塵車(chē)間中，電路的尺寸技術(shù)可以說(shuō)是促進(jìn)凈化的關(guān)鍵點(diǎn)。電子無(wú)塵車(chē)間的制備方法越先進(jìn)，芯片尺寸越小。然而，電子無(wú)塵車(chē)間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無(wú)塵車(chē)間中會(huì)成為廢品，因?yàn)榻饘偌邦?lèi)似是電子無(wú)塵車(chē)間的廢品問(wèn)題之一。

無(wú)塵車(chē)間工人在防火墻兩端2m范圍內(nèi)穿管、穿管、穿隔熱層。根據(jù)上述需要，在潔凈室工程中，經(jīng)常采用拍賣(mài)保溫板和復(fù)合硅酸鹽保溫板（防潮層和外保護(hù)材料以及與保溫材料相匹配的液體泥漿），而阻燃自熄聚苯乙烯保溫板不符合消防要求，限制了其應(yīng)用。這里重要的是，當(dāng)輸送的空氣溫度低于環(huán)境溫度時(shí)，由于隔熱結(jié)構(gòu)內(nèi)外壁之間的溫差而產(chǎn)生水蒸氣的分壓差。由于分壓差的影響，管外空氣中的水蒸氣隨熱流滲入保溫材料，導(dǎo)致保溫結(jié)構(gòu)內(nèi)凝結(jié)，保溫材料的保溫性能降低，必須在保溫層外設(shè)置防潮層。當(dāng)氣溫高于環(huán)境溫度時(shí)，保溫結(jié)構(gòu)一般不設(shè)置防潮層。保溫材料采用閉孔結(jié)構(gòu)，防止水汽滲入。如防水層為液體泥漿，復(fù)合硅酸鹽保溫板施工后無(wú)接縫。防潮效果很好，但是價(jià)格很高。