由于無塵車間要保持相應級別的潔凈度，所用建造材料都應滿足一定的要求。無塵車間地面，要求平整、耐磨、易清洗、防靜電、不嚴重反光、美觀耐用。無塵車間地面材料的選用尤其關鍵，具體使用哪種材料，應結(jié)合無塵車間建設方的預算來確定。

在平時，工作人員除了需要定期進行盆浴或淋浴外，還應當定期洗頭。保持身體的清潔，盡量減少死皮數(shù)量。同時，在每次進入無塵車間之前，都應該對手進行徹底的清潔。平時看起來挺干凈的手，其實也是一大污染源，能夠?qū)⑽廴疚飶囊惶巶鞯搅硪惶?。在清洗的時候，尤其應該注意指甲、指甲根部和手上的傷處。

在整個集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術可以說是促進凈化的關鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會成為廢品，因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。

在整個集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術可以說是促進凈化的關鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會成為廢品，因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。