對于要求比較高的無塵車間，還需要做無塵車間地面的防靜電處理。通過使用防靜電水磨石做面層，再通過鋪設靜電接地網(wǎng)來達到防靜電效果。如果無塵車間地面采用防靜電水泥砂漿，那么久需要添加靜電接地網(wǎng)來達到防靜電功能。一般來說，電子無塵車間對防靜電的要求會比較高。

為達到潔凈水平，無塵車間的設置需要采取綜合措施，包括工藝布置、建筑平面、建筑結構、空氣凈化措施、維護管理等，其中空氣凈化措施是達到潔凈水平的根本保證。

在決定無塵車間的設計之前，必須仔細考慮工廠的工作性質和氣流條件。在粉塵排放量較大的無塵車間內，不要使用地面送風，以免進入其他需要清潔的工作場所。

無塵車間必須防止外界空氣進入室內，室內必須保持正壓才能達到目的。為了獲得必要的室內壓力，必須添加適當?shù)男迈r空氣。

在整個集成電子無塵車間中，電路的尺寸技術可以說是促進凈化的關鍵點。電子無塵車間的制備方法越先進，芯片尺寸越小。然而，電子無塵車間電路上的顆粒物粒徑小約1%～2%，在電子無塵車間中會成為廢品，因為金屬及類似是電子無塵車間的廢品問題之一。