生物處理技術應用于有機廢氣的凈化處理是近幾年才開始的，是一項新興的技術。常見的生物處理工藝包括生物過濾法、生物滴濾法、生物洗滌法、膜生物反應器和轉盤式生物過濾反應器法。

生物法是指采用微生物對含“三苯”有機廢氣進行吸收、分解。這是一項新興的技術，利用微生物菌種生長、繁殖過程吸收有機廢氣作為營養(yǎng)物質的特性，把廢氣中的有害成分降解為二氧化碳、水和細胞組成物質，從而達到處理廢氣的目的。這種方法適用的濃度范圍較廣，投資低、運行維護簡單、無二次污染，并且運行時間越長，微生物對廢氣更適應，處理效果越好、越穩(wěn)定。這種方法的關鍵是選擇和培養(yǎng)、適用的微生物菌種。生物法處理含“三苯”有機廢氣工藝的核心是生物膜。其基本原理是采用微生物繁育技術，經過培養(yǎng)、馴化、富集形成多種類特殊的微生物菌種，然后將這些微生物菌種接種在多孔的填料表面，形成生物膜層。當含有多種揮發(fā)性有機物的廢氣流經填料塔時，由于擴散作用，廢氣中的污染物質轉移到生物膜上；在適宜的環(huán)境條件下，此生物膜進行生長、繁殖過程通過微生物酶進行生物化學反應，將廢氣中的有機成份作為營養(yǎng)物質并使之降解為二氧化碳、水和細胞組成物質，從而達到凈化廢氣的目的。

生物膜法是利用微生物的新陳代謝過程對多種有機物和某些無機物進行生物降解，生成CO2 和H2O，進而有效去除工業(yè)廢氣中的污染物質。該法具有設備簡單，運行維護費用低，無二次污染等優(yōu)點。但對成分復雜的廢氣或難以降解的VOC，去除效果較差,體積大和停留時間長，選用不同的填料其降解有機廢氣的效果參差不同。