單向流潔凈室:單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動,并且在斷截面上風速一致,有垂直單向潔凈室,準垂直單向流,水平單向流潔凈室等。
一般情況下,凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負荷特點不同。就潔凈室,尤其是半導體工業(yè)潔凈室而言,其負荷特點是:由于排風量大造成新風量大,故新風處理所需冷量消耗大;送風量大,輸送動力消耗大,風機管道溫升高;生產(chǎn)設備的發(fā)熱量大,消耗冷量大。
一般以工業(yè)鋁材(不銹鋼方通、噴塑方通)做框架,采用風機濾網(wǎng)機組FFU送風,四周采用防靜電垂簾,頂部鋪蓋密縫盲板,形成一個密縫區(qū),內(nèi)部凈化級別可達100---10萬級;特別適用于車間內(nèi)局部對潔凈度要求高的區(qū)域,如流水線作業(yè)區(qū)的高度產(chǎn)品組裝區(qū)。
十萬級GMP潔凈車間對不同的對象,有不同的玷污物控制要求。
計有:
⑴空氣中懸浮微粒(非生物性及生物性)
⑵空氣中懸浮分子玷污物
⑶病毒
⑷微振
⑸靜電
⑹生產(chǎn)工藝介質(zhì):高純工業(yè)氣體、特種氣體、高純水及高純化學品等的有關雜質(zhì)。