潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。

萬級凈化車間的潔凈度：潔凈度10000級cleanliness class 10000（P2萬級實驗室即ISO7級）即大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于35000粒／m3 (35粒/L)到小于等于350000粒／m3(350粒／L)；大于等于5μm的塵粒數(shù)大于300粒／m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒／m3(3粒/L)。

壓差及溫濕度控制：

1）溫度:干盤管系統(tǒng)控制。

2）濕度:空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過感測的信號,控制三通閥開度來調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進水量。

3）正壓:空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測的信號,自動調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達(dá)變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進入室內(nèi)的新風(fēng)量。

萬級凈化，環(huán)境凈化的一種，主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣，將室內(nèi)的污染逐漸排出，來實現(xiàn)潔凈效果。

萬級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣，將室內(nèi)的污染逐漸排出，來實現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動，拌有回流或渦流，不同等級的無塵室，主要是依靠單位時間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來實現(xiàn)。

潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

參照《藥品衛(wèi)生檢驗方法》 《中國藥品檢驗標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)范》中 (無菌檢查法)章節(jié) 中華人民共和國醫(yī)藥行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) YY/T0188.6-1995《藥品檢驗操作規(guī)程》

分發(fā)部門

質(zhì)量管理部

無菌室前，應(yīng)將所有物品置于操作之部位（待檢物例外），然后打開紫外燈30分鐘，時間一到，關(guān)閉紫外燈待用

進入無菌室前，必須于緩沖間更換過的工作服、工作帽及工作鞋。

操作應(yīng)嚴(yán)格按照無菌操作規(guī)定進行，操作中少說話，不喧嘩，以保持環(huán)境的無菌狀態(tài)。

吸取菌液時，必須用吸耳球吸取，切勿直接用口接觸吸管，如吸管碰到手及其它未的物體，必須重 新 更 換 ，以 防污染 。

接種針每次使用前后，必須通過火焰燃燒，待冷卻后，方可接種培養(yǎng)物 。帶有菌液的吸管、試管等器皿應(yīng)浸泡在盛有5%的來蘇兒溶液的桶內(nèi)，24h 取出沖洗;培養(yǎng)皿則需在高壓器中重新后方可處理營養(yǎng)基，切記不要直接沖入下水道中，防止阻塞。如有菌液灑在桌上或地上，應(yīng)立即用 5%石碳酸溶液或 3%的來蘇兒傾覆在被污染處至少 30min，再做處理，工作衣帽等受到菌液污染時，應(yīng)立即脫去，高壓蒸汽后洗滌 。