依據(jù)機械加工原理、半導體材料工程學、物力化學多相反應多相催化理論、表面工程學、半導體化學基礎理論等,對硅單晶片化學機械拋光(CMP)機理、動力學控制過程和影響因素研究標明,化學機械拋光是一個復雜的多相反應,它存在著兩個動力學過程:
(1)拋光首先使吸附在拋光布上的拋光液中的氧化劑、催化劑等與襯底片表面的硅原子在表面進行氧化還原的動力學過程。這是化學反應的主體。
(2)拋光表面反應物脫離硅單晶表面,即解吸過程使未反應的硅單晶重新裸露出來的動力學過程。它是控制拋光速率的另一個重要過程。
大理石防護晶面拋光液 大理石加光加硬劑是針對大理石表面需追求超高亮度而設計,具有的滲透性和擴散力,能滲入到大理石基料的分子間隙。加光劑內(nèi)含溶劑性硬蠟,以及對大理石沒有腐蝕的微酸性,擁有去污、加硬、加光、防滑四大功能,經(jīng)打磨產(chǎn)生化學反應,可迅速提升大理石地面的光澤度,令石材保持光潔如新的鏡面效果。
多晶金剛石拋光液
多晶金剛石拋光液以多晶金剛石微粉為主要成分,配合高分散性配方,可以在保持高切削率的同時不易對研磨材質(zhì)產(chǎn)生劃傷。主要應用于藍寶石襯底的研磨、LED芯片的背部減薄、光學晶體以及硬盤磁頭等的研磨和拋光。
拋光粉通常由氧化鈰、氧化鋁、氧化硅、氧化鐵、氧化鋯、氧化鉻等組份組成。不同的材料的硬度不同,在水中的化學性質(zhì)也不同,因此使用場合各不相同。通常,氧化鈰拋光粉用于玻璃和含硅材料的拋光,氧化鋁拋光粉用于不銹鋼的拋光,氧化鐵也可用于玻璃,但速度較慢,常用于軟性材料的拋光。石材的拋光常使用氧化錫,瓷磚的拋光常使用氧化鉻。
水磨石拋光液性能特點:
1、光澤度高,可達100度以上,超出新出廠石材的標準。
2、硬度高,不易劃傷,一般硬物(或自然行走)不會對石材造成磨損。
3、均勻、平整、光滑、天然、清澈,有鏡面感覺,顯現(xiàn)石材天然色澤。
4、表面干爽,不吸附塵埃,塵埃沙粒僅停留在表面,易徹底清理。
5、還具有防滑、防污效果。。