三氟甲烷中文別名：氟仿；氟里昂-23；英文名稱trifluoromethane分子式：CHF3分子量：70.0138[1].1用作超臨界萃取法溶劑、低溫制冷劑。及作為滅火劑和制造四氟乙烯的原料，電子工業(yè)等離子體化學(xué)蝕刻劑及氟有化合物的原料。2、電子級氟仿是微電子工業(yè)廣泛應(yīng)用的等離子蝕刻氣體之一，尤其是對二氧化硅膜的刻蝕，具有刻蝕速度快，選擇性好的優(yōu)點。此外，氟仿還用于低溫混合制冷劑、有機合成中間體、紅外檢測器直接冷卻劑等。3、用作低溫致冷劑及作為滅火劑和制造四氟乙烯的原料。4、用作低溫（-100℃）制冷劑，電子工業(yè)等離子體化學(xué)蝕刻劑及氟有機化合物的原料。[1]