介質阻擋放電過程中，電子從電場中獲得，通過碰撞將轉化為污染物分子的內(nèi)能或動能，這些獲得的分子被激發(fā)或發(fā)生電離形成基團，同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可產(chǎn)生大量的態(tài)氫、臭氧和羥基氧等基團，這些基團相互碰撞后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應。從等離子體的基團組成可以看出，等離子體內(nèi)部富含化學的粒子，如電子、離子、基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高的基團發(fā)生反應，終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。